流量控制器,气体质量流量控制器,气体质量流量控制器厂家
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流量控制器(mfc)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。mfc的工作压差范围通常为0.1~0.3mpa, 若压差低于值(0.1 mpa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3mpa), 有可能关闭时流量不能小于2%f.s。用户使用mfc时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使mfc进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。若在其进口端装一块或二快多孔板式流动调整器整流器后,则其长度可大为缩短。
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一、当无法忍受渗水后不得不购买一批新的设备,现在就不需要使用这种方法了,当再有液态氨进入到流量计或流量控制器内部时,只需简单地用高压氨气冲洗管路后进行消毒即可。
二、排除液体的方法是怎样的呢?如果不特殊声明,mfc都采用氟橡胶密封,可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体,例如可以用于卤族干燥气体。液体中含有悬浮颗粒物,抽湿过程可能会留下固体颗粒,从而导致流量计或流量控制器内留有残渣。如果设备是316l不锈钢结构的耐腐蚀系列,那您大可高枕-,因为耐腐蚀系列的结构与液体流量计、液体流量控制器基本相同,可较大的程度地允许液体渗入。
流量计在平时使用的时候需要注意哪些事项呢?
一、在使用流量计的时候需要防止人为的断电以及拆线,因为采取断电以及拆信号线的方-使得设备短时间不计量还会导致计量-。
二、设备在使用条件上必须进行零点标定,该设备时属于在线使用高精的测量仪表,长期使用时一定要定期的进行标定。
三、超过使用范围会导致仪表测量的精度下降,还会导致仪表损坏等。
四、设备的精度高,所以价位也会高,并且还需要-的维护,在振动以及使用条件进行经常检查等,-精度以及仪表的安全。
五、设备的应用成功与否跟安装是有直接关系的,,需要整齐的安装外,还需要减少振动的影响。
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提高气体流量控制器实用准确度的措施为:
1.针对气体流量控制器的实际工艺参数,对该流量计进行“个性化标准”,从而实现在实际使用流量点的一定范围内,该气体流量控制器的实际测量误差(与标准值的差)趋于零。
2.把好气体流量控制器的安装环节,减少或消除机械应力、机械扭力和机械振动等对该流量计使用的影响。
3.考虑工艺压力、温度等对气体流量控制器测量准确度的影响。
4.把好气体流量控制器的投用关。
气体流量单位一般以sccmstandard cubic centimeter per minute,每分钟标准毫升和slmstandard liter per minute,每分钟标准升来表示。这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325pa (760mm hg); 温度—0℃ (27-k)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是sccm﹑slm不同于ml/min﹑l/min 之处。仪表连接管道的振动连接tmf的管道在常见实际范围内的振动不会产生振动干扰,在正常情况下不影响仪表的测量性能。
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