流量控制器,气体质量流量控制器,气体质量流量控制器厂家
厚礼博精密仪器(北京)有限公司
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热式流量器可测量低流速(气体0.02~2m/s)微小流量;浸入式热式流量计可测量低~中偏高流速(气体2~60m/s)，插入式热式流量计更适合于大管径。
热式流量计无活动部件，无分流管的热分布式仪表无阻流件，压力损失很小;带分流管的热分布式仪表和浸入性仪表，虽在测量管道中置有阻流件，但压力损失也不大。
热式流量计使用性能相对-。与推导式流量仪表相比，不需温度传感器，压力传感器和计算单元等，仅有流量传感器，组成简单，出现故障概率小。
热分布式仪表用于h2 、n2 、o2、co 、no等接近理想气体的双原子气体，不-这些气体专门标定，直接就用空气标定的仪表，实验证明差别仅2%左右;用于ar、he等单原子气体则乘系数1.4即可;用于其他气体可用比热容换算，但偏差可能稍大些。
气体的比热容会随着压力温度而变，但在所使用的温度压力附近不大的变化可视为常数。
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流量计，即mass flow meter缩写为mfm, 是一种准确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
流量控制器, 即mass flow controller缩写为mfc, 不但具有流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，mfc自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说,流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。仪表使用过程中在使用条件下有-进行准确的零点标定，流量控制器属于在线使用的高度测量仪表，零点的漂移对测量结果有影响，长期使用时一定要定期进行标定。
流量控制器在正常工作时，流体在旋转的管内流动时会对管壁产生一个力，它是科里奥利在1832年研究水轮机时发现的，简称科氏力。流量计以科氏力为基础，在传感器内部有两根平行的t型振管，中部装有驱动线圈，两端装有拾振线圈，变送器提供的激励电压加到驱动线圈上时，振动管作往复周期振动，工业过程的流体介质流经传感器的振动管，就会在振管上产生科氏力效应，使两根振管扭转振动，安装在振管两端的拾振线圈将产生相位不同的两组信号，这两个信号差与流经传感器的流体流量成比例关系。计算机解算出流经振管的流量。不同的介质流经传感器时，振管的主振频率不同，据此解算出介质密度。任意设定值百分比变化区域不少流量控制器的技术参数采用设定值某一百分比区间内的变化来定义设备响应速度，比如：从设定值的10%到达90%所需要的时间。安装在传感器器振管上的铂电阻可间接测量介质的温度。
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流量控制器的特点是：当自力式流量控制阀进口、出口压差变化时，通过自力式流量控制阀的流量恒定不变。
流量控制器的性能参数有：流量控制精度、工作压差范围、启动压差
工作压差范围指的是当流量控制器进口、出口压差变化在多大范围时，能保持通过流量控制器的流量恒定不变。行业标准中规定工作压差范围0.03－0.3mpa，a类产品工作压差范围达到0.03－0.4mpa。工作压差范围的大小取决于自力式流量控制阀的设计。对于-化硼等强腐蚀性气体和mocvd使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的mfc。
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