流量控制器,气体质量流量控制器,气体质量流量控制器厂家
厚礼博精密仪器(北京)有限公司
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由于到达设定值后控制器可能会发生超调，所以通常制造商用到达设定值且稳定后所需要的时间作为设备响应速度，并赋予波形振荡幅度一个容许范围。举个例子， 容许范围2%表示流量波动在设定值的2%以内即为稳定。一般流量控制器的精度在0.5%~2%之间，但一些制造商却将稳定容许范围扩大到10%。我们认为如果用户要将流量控制在期望的设定值，那么其稳定容许范围也必须落在设备精度范围内。如下面示波器截屏图所示，控制器在27.6毫秒时到达了与设备精度(满量程的1%)等同的稳定容许范围。一、压力状况在加气机中使用的流量控制器测量的气体的压力不低于20mpa，压力远远大于-压。
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使用挥发性液体蒸发汽, 气压很低, 如何定制流量控制器的低压降产品?
部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源, 气压很低, 用普通mfc, 不能正常工作。这时用户需要向供货商-声明, 定制低压降的流量控制器。通常可以定制工作压差低于0.01mpa的mfc, 这时mfc的工作压差范围, 也会变小。
注意使用挥发性液体蒸发汽时, 不能让汽化物在mfc中结露, 结露会影响mfc的正常工作。为了防止结露, 可以对管路和mfc适当加温, 但mfc的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要mfc的工作环境温度超过65℃以上, 需要特殊购买高温mfc产品。气体流经振动管时，存在压降，使得振动管受力不对称，这也对相位差有影响。
怎样选择流量显示单位？
我们的流量显示仪一般提供三种流量显示单位，即百分比﹑sccm﹑slm。出厂前根据用户的要求设定。按百分比显示的方式，即是将 mfm / mfc 的流量测量值按其占满量程的百分比来显示，例如，规格为50sccm的mfm/mfc，当显示值为80%时，实际的流量为40sccm。对任何一种规格的mfm/mfc，满量程值都显示为100%。这种方式通用性好，可配不同量程的mfm/mfc，但不直观，有的用户不习惯。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的流量(无需温度压力补偿)。
按 sccm或 slm显示，出厂时对流量显示的范围与相应的mfm/mfc的量程进行匹配，使用时显示值即是流量值，很直观，符合习惯，为多数用户所采用。 匹配好后，原则上也能接其它量程的mfm/mfc使用，只是显示值需要修正。
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