流量控制器,气体质量流量控制器,气体质量流量控制器厂家
厚礼博精密仪器(北京)有限公司
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流量控制器，即massflowcontroller(mfc)，不但具有流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，mfc自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。流量控制器mass flow controller缩写为mfc用于对于气体或者液体的流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，cvd，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。通常气体流量控制器接触工作气体的湿材料为316l不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等,密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。
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地定量控制流量
适用范围宽
有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10mpa; 可以适用于多种气体介质包括一些腐蚀性气体，如hcl；有很宽的流量范围，我们的产品流量范围可达0～5 sccm，流量范围可达0～200 slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%， 流量控制范围是满量程的2～100% 量程比为-- 50:1， 因此在很多领域得到广泛应用。例如ldg-□db系列为减少环境气氛对流传热影响，只能水平安装，水平度允差±20。
物理时间常数
物理时间常数用希腊字母tau来表示，是现今为数不多的用来描述响应时间的标准之一，即：控制器到达设定值某个百分比所需要的时间，被定义为1-1/e， 其中e是作为自然对数底数的无理数，其值为2.72，所以1-1/e即为设定值的63.2%。虽然该定义是一个物理标准，可能说明不了什么问题，因为余下的设定值的36.8%所花费的时间可能多于或少于之前的63.2%。与推导式流量仪表相比，不需温度传感器，压力传感器和计算单元等，仅有流量传感器，组成简单，出现故障概率小。从下面示波器截图中可以看到：alicat?流量控制器仅用了7.4毫秒便到达了设定值的63.2%。
任意设定值百分比变化区域
不少流量控制器的技术参数采用设定值某一百分比区间内的变化来定义设备响应速度，比如：从设定值的10%到达90%所需要的时间。由于和后的 10%控制响应曲线变化，由此而得出的控制响应速度可能无法与实际的控制性能等同。流量控制器的设定值可以通过模拟电压、模拟电流，或者计算机、plc提供。如下图所示，alicat?流量控制器用了11.4毫秒到达设定值， 从示波器波形图中可以清晰地观察到：50%那段跨度，低于10%和高于90%那两段的跨度则小了很多。就该图而言，如果按照从设定值10%到达90%所用的时间来定义设备响应速度的话，那么结论是6~7毫秒。
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